系統設備管道防腐處理 
臭氧氣體具有很強的腐蝕性，在潮濕情況下腐蝕性很強。因此，臭氧發生設備輸送臭氧的管道閥門及接觸反應設備均采取防腐措施。如使用碳鋼材料必須涂防腐涂層。使用不銹鋼管，玻璃鋼管，ABS、PVC、PP-R 塑料管等。接觸池在使用鋼筋混凝土材料時應加防腐涂層。一般橡膠不耐臭氧氧化，所以臭氧發生設備間的電線，電纜等均不能使用橡膠包裹的電線，應使用塑料電線。

設置通風排氣設備 
臭氧具有毒性，空氣中臭氧濃度達到 0.1mg/m3 時就對人的眼睛、鼻、喉及呼吸道產生刺激作用在 0.01-0.02mg /m3 時可聞到臭味；因此在臭氧設備間應設置通風設備，萬一發生泄漏可及時排出臭氧。臭氧比空氣重，通風機應安裝在靠近地面處。
臭氧輸送管道及臭氧設備必須密閉，防止泄漏。 在設備運行之前應檢查是否漏氣，運行中一旦發生泄漏應立即關掉臭氧發生器電源，打開排風扇排出臭氧，再進行檢修。 
臭氧發生器為高壓放電設備，應設置接地裝置，接地電阻應小于4 歐姆。操作應嚴格按照設備使用說明書及有關電器使用要求進行。 
必須設置尾氣處理或尾氣回收裝置，反應后排出的臭氧尾氣必須經過分解破壞或回收利用，達到排放標準，否則將污染大氣。