無氧化烘箱在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱箱在工業中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監控和控制。
      智能制造主要指生產線現場的生產過程管理、現場監控和控制等，包括智能工廠生產過程的數據采集及分析，實現生產過程、設備、資源監控的可操作和可視化；要能支持采集不同現場設備數據的要求，支持將生產數據及設備故障信息顯示在監控站的屏幕上，實現生產過程的動態監控與管理；實現智能設備、機器人和生產線、用戶全流程互聯對話，實現人機、機機互聯下的高品質、高效、柔性自動化生產等。