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在一定壓力下產生的蒸汽濕度高、穿透力強，能夠迅速有效地殺滅微生物，是器械滅菌的主要方法之一。其特點是殺菌可靠、經濟、快速、滅菌效果好。基本結構如下[2]：
壓力容器：包括滅菌室、夾套、門和其他與滅菌室長久相連接的部件。采用不銹鋼材料，并有保溫材料層。
滅菌室：放置待滅菌物品的空間
夾套：環繞焊接在滅菌室外表面的不銹鋼結構，實現機械加固，滅菌室溫度控制的作用。
管路系統
蒸汽進入管路：與蒸汽汽源直接相連，將蒸汽送到滅菌室或夾套。
蒸汽疏水管路：將蒸汽冷凝水排出。
滅菌室排放管路：連接滅菌室與排放管路，是滅菌室內氣體及冷凝水排出外部的通道。
給水管路：為滅菌器提供工作水源。
回氣管路：將滅菌室和大氣相連，當內室干燥時形成真空，通過回氣管路，使內室與外界大氣壓平衡。
自動門與滅菌室密封組件
使用壓縮空氣或蒸汽使自動門與滅菌室密封。
干熱滅菌器
干熱滅菌器是由雙層鐵板制成的方形金屬箱，外壁內層裝有隔熱的石棉板。箱底下放置大型火爐，或在箱壁中裝置電熱線圈。內壁上有數個孔，供流通空氣用。箱前有鐵門及玻璃門，箱內有金屬箱板架數層。電熱烤箱的前下方裝有溫度調節器，可以保持所需的溫度。
滅菌效果檢測
滅菌效果監測是評價其滅菌設備運轉是否正常、滅菌藥劑是否有效、滅菌方法是否合理、滅菌效果是否達標的主要手段。主要的滅菌效果監測方法包括：物理監測法、化學監測法、生物監測法及化學消毒劑的監測等
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