NexION 2000 系統的等離子體發生器使得等離子體異常穩健，可應對為復雜的樣品。圖 7 顯示的是使用常溫霧室，不對霧化氣或輔助氣流速做特殊調整時在標準進樣速率（即 300 μL 分鐘 -1 ）下若干樣品基質（水性的和有機的）的等離子體外觀。

現在有越來越多的應用需要向等離子體源加入除了氬氣以外的多種氣體。O2、He 和氬氣這樣的混合氣體非常常見，特別是當分析有機樣品時或當 ICP-MS 結合激光燒蝕（LA）系統時。含有稀有氣體、雙原子氣體或多原子氣體的混合氣體等離子體通常用于減小質譜和非質譜干擾，或用于改善某些元素的電離作用。專為 NexION 2000 ICP-MS 設計的射頻發生器的快速匹配功能及其固有的穩健性使得系統對混合氣體適應性非常強。通過小的頻率偏移實現的阻抗匹配速度使得 NexION 2000 能夠接受混合氣體的突然加入。為了演示使用 珀金埃爾默NexION 2000 后等離子體源的穩健性，

圖 8 顯示了正在運行的穩定等離子體，*去除了樣品導入，中心管暴露在空氣中。

圖 9 顯示了使用 70 mL 分鐘 -1 甲烷（CH4）運行的等離子體。即使突然開關甲烷氣體，等離子體依然繼續保持穩定和不間斷地操作。

對許多應用而言，在冷等離子體條件下操作 ICP-MS 都是有效的，包括與分析半導體工藝的化學制品有關的應用，可以改善因氬基多原子干擾而受到質譜重疊影響的許多元素的背景當量濃度（BEC）。珀金埃爾默NexION 2000 ICP-MS 中的多模方法現在可以結合基于單元的模式利用熱 - 冷等離子體條件，例如反應和碰撞。專為 NexION 2000 設計的等離子體發生器實現了冷 - 熱等離子體條件的快速功率切換，從而增加了多模方法的樣品通量。圖 10 顯示的是測量 59 amu 鈷時 NexION 2000 系統的射頻功率在 500 和 1600 W 之間周期性切換的信號響應。結果顯示，兩個功率電平之間的實際切換時間幾乎微不足道，對于每一個功率電平，Co 信號在不到 30 秒的時間內就趨于穩定。信號穩定化所需的時間主要取決于熱效應和每次功率變化后實現熱平衡所需的時間。