紫外臭氧清洗機是數字控制的臺式清洗設備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤,和可調節高度的樣品臺，用于優化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統具有進出氣接口。該系統由一個方便的預設置控制器控制，非常容易操作。能滿足有機分子去除和其他眾多的應用。可以直接在空氣中操作，或是通過其中一個進氣口通入氧氣來增加臭氧產生。可編程數字控制器可以控制系統進程，來確保時間和優化清洗參數。常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用，我們的設備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。紫外臭氧清洗機的應用范圍十分廣泛，目前在現代信息技術行業中使用光清洗技術比較普遍，隨著我國工業現代化的發展，光清洗和光改質技術還將逐步應用于金屬、塑料、橡膠等工業生產領域。

　　工作原理：

　　通過產生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短并且同時也被254nm光分解，樣品臺可以調節樣品到燈管的距離來優化性能。PSD和PSDP分解有機污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉變成氧分子。

　　在選擇紫外臭氧清洗機時，應遵循以下原則：

　　1.生產率高和產品質量好的原則。生產率的高低直接反映生產線的生產能力。所以生產率越高，其產生的經濟效益越好。為了提高產品質量，應選擇設備精度高、自動化程度也高的清洗機。但是設備的售價也相應提高，增大了產品的單位成本。因此在選擇產品時，應結合生產工藝要求，對相關的因素進行綜合考慮。

　　2.為生產工藝服務的原則。先應根據物料的性質(粘度、起泡性、揮發性、含氣性等)選擇適宜的設備，以滿足生產工藝要求。

　　3.工藝范圍寬的原則。紫外臭氧清洗機的工藝范圍是指其適應不同生產要求的能力。工藝范圍越寬，越能提高設備的利用率，實現一機多用，即利用同一設備可以清洗多種物料和多種規格。

　　以上三方面是選擇紫外臭氧清洗機時應該遵循的原則。