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德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵的提升措施

來(lái)源:東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司   2019年03月19日 14:08  

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德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的廣泛、主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵,它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵/OB系列油增壓泵
德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵作了重大改進(jìn).其主要特點(diǎn)有:①抽速大,抽速范圍為3000~50000 L/s六種規(guī)格。泵壁有上凹槽,冷卻水管臥在凹槽內(nèi),增大了接觸面積、冷卻效果好。萊寶公司又于2003年對(duì)DIP擴(kuò)散泵進(jìn)行了進(jìn)一步的改進(jìn),將水冷管改為水冷夾層。德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵的整體改為全不銹鋼材質(zhì)。從而進(jìn)一步提高DIP系列泵的性能指標(biāo)。②油蒸汽返流率低。不加外置水冷擋板并使用普通礦物油,其返油率為1×10-3mg/cm2·min;如果采用DC-705硅油,返油率可降至于1×10-4mg/cm2·min;極限壓力低于10-6Pa。③抽氣曲線上,在入口壓力為10-1Pa時(shí)達(dá)到大抽速,且抽速穩(wěn)定。④采用插入德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵內(nèi)部的多支加熱棒加熱,傳熱效率高,預(yù)熱時(shí)間短。對(duì)于抽速為3000~20000L/s的泵,預(yù)熱時(shí)間少于25min;30000~50000L/s的泵預(yù)熱時(shí)間少于30min。可在不停泵的情況下更換加熱棒。⑤裝有過(guò)熱裝置,防止泵油過(guò)熱。通過(guò)觀察窗可隨時(shí)觀察泵油的質(zhì)和量。泵上設(shè)有注油口和放油口,換油時(shí)無(wú)須把擴(kuò)散泵從真空系統(tǒng)中拆下。大允許前級(jí)壓力高,為60 Pa。
德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵為3~4級(jí)噴咀,并作成托盤結(jié)構(gòu),可調(diào)節(jié)各級(jí)噴咀的喉部間隙。在泵體內(nèi)帶水冷帽。用多個(gè)盤式加熱器。
關(guān)改進(jìn)措施
德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵系統(tǒng)的壓強(qiáng)不穩(wěn)定的原因,有內(nèi)部和外部之分。泵外的原因有:①來(lái)自橡膠墊圈的氣泡;②從障板上滴落下的泵油;③高的前級(jí)耐壓;④阱除霜;⑤阱內(nèi)冷凍層的破裂。泵內(nèi)的原因有:①泵油爆沸或沸騰不穩(wěn)定;②在導(dǎo)流管外部油的沸騰;③輕氣體的低壓縮比;④噴咀內(nèi)的液滴;⑤頂噴咀變冷(蒸汽冷凝);⑥鍋爐附近泄漏,泵體要檢漏。
鍋爐內(nèi)德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵的不穩(wěn)定沸騰,會(huì)使噴出的蒸汽射流的密度波動(dòng),從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時(shí)過(guò)熱,使之有一段爆沸的時(shí)間,其補(bǔ)救的辦法是在現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵中采用有翼片的鍋爐,增加內(nèi)表面積,降低熱流密度,增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中,強(qiáng)力的爆沸,會(huì)引起自爆升騰,對(duì)噴咀,引起瞬間堵塞,造成汽流波動(dòng)。德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵內(nèi)加防爆板可以防止爆沸的影響,因?qū)p氣體壓縮比低,可引起壓力的不穩(wěn)定,增加功率和泵的級(jí)數(shù)是有利的。在德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵中設(shè)置側(cè)面出口噴射噴咀和擴(kuò)壓器,可使擴(kuò)散泵這種不穩(wěn)定性減至小。頂噴咀帽過(guò)冷也會(huì)引起蒸汽流不連續(xù),導(dǎo)致壓力的不穩(wěn)定。設(shè)法保持頂噴咀的溫度不降,不使其過(guò)冷。來(lái)自橡膠密封的氣泡,有時(shí)油捕集氣體,通過(guò)密封膠圈滲透放出,因氣泡有一定壓力使油膜破裂后進(jìn)入系統(tǒng)中。密封槽內(nèi)集存的泵油應(yīng)能排出,可使不穩(wěn)定減少,若用金屬墊圈就更好了。設(shè)計(jì)良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發(fā)。在用碳?xì)浠衔锉糜蜁r(shí),操作不當(dāng),擴(kuò)散泵系統(tǒng)有發(fā)生爆炸的危險(xiǎn)。大多數(shù)情況下規(guī)管的燈絲就是點(diǎn)火源。泵的日常操作要規(guī)范,定期檢查泵油的質(zhì)和量。
zui后,我再為大家介紹一下德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵的提升措施供大家參考:
油擴(kuò)散泵致命的缺點(diǎn)就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)大量的研究,現(xiàn)代擴(kuò)散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施,使德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵的返油率降得很低。
所有的德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵都存在一定程度的返流現(xiàn)象。返流的氣體是少量殘余的碳?xì)浠衔铩7盗饔袃蓚€(gè)不同性質(zhì)的來(lái)源:泵油分子朝向擴(kuò)散泵頂噴咀的上方運(yùn)動(dòng)構(gòu)成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設(shè)計(jì),可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設(shè)置水冷擋油帽,它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置,由于不斷對(duì)冷帽結(jié)構(gòu)的改進(jìn),使主要返流大大降低。
利用水冷擋油帽,使德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵的抽速稍有損失外,可使返油率降低。對(duì)于許多應(yīng)用場(chǎng)合是允許的。若在系統(tǒng)附加些管道、閥門和彎管,可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學(xué)密閉的障板,可限制主要返流,但使泵的抽速約下降50%。
次要的返流(即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發(fā)是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數(shù),到達(dá)真空室的這種返流量取決于設(shè)置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度,常用液氮( 77K)冷阱來(lái)捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學(xué)密閉,而且還必須使進(jìn)入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對(duì)于使用吸附劑(如沸石)的障板,為避免油分子直線飛行,要設(shè)置交錯(cuò)的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質(zhì)。1盎司( 28.35g)沸石內(nèi)部約有5英畝吸附面積,在小型超高真空系統(tǒng)中,使用分子吸附劑障板是有效的。因?yàn)樵诘蛪合拢趲讉€(gè)星期內(nèi)它能連續(xù)地吸附碳?xì)浠衔锖推渌鼩怏w,并不需要液氮。
現(xiàn)代的德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵在泵入口處,泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。
希望以上的德國(guó)Leybold萊寶DIP系列擴(kuò)散泵資料可以幫助到大家,如有不同意見,歡迎來(lái)dian探討。

 

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