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天瑞X射線熒光光譜儀主要由激發、色散、探測、記錄及數據處理等單元組成。激發單元的作用是產生初級X射線。它由高壓發生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。
天瑞X射線熒光光譜儀樣品制備
進行x射線熒光光譜分析的樣品，可以是固態，也可以是水溶液。無論什么樣品，樣品制備的情況對測定誤差影響很大。
對金屬樣品要注意成份偏析產生的誤籌;化學組成相同，熱處理過程不同的樣品，得到的計數率也不同;成份不均勻的金屬試樣要重熔，快速冷卻后車成圓片;對表面不平的樣品要打磨拋光;對于粉末樣品，要研磨至300目一400目，然后壓成圓片，也可以放人樣品槽中測定。
對于固體樣品如果不能得到均勻平整的表面，則可以把試樣用酸溶解，再沉淀成鹽類進行測定。對于液態樣品可以滴在濾紙上，用紅外燈蒸干水份后測定，也可以密封在樣品槽中。總之，所測樣品不能含有水、油和揮發性成份，更不能含有腐蝕性溶劑。
天瑞X射線熒光光譜儀定性分析
不同元素的熒光x射線具有各自的特定波長或能量，因此根據熒光x射線的波長或能量可以確定元素的組成。如果是波長色散型光譜儀，對于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉動的2e角可以求出x射線的波長入，從而確定元素成份。
對于能量色散型光譜儀，可以由通道來判別能量，從而確定是何種元素及成份。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。
首先識別出x光管靶材的特征x射線和強峰的伴隨線，然后根據能量標注剩余譜線。在分析未知譜線時，要同時考慮到樣品的來源、性質等元素，以便綜合判斷。
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