為了保證icp等離子光譜儀的安全運行，供電線路必須要有足夠的容量，否則儀器運行時線路的電壓降過，影響儀器壽命。作為一臺精密測量儀器，它還需要有相對穩定的電源，供電電壓的變化一般不超過＋百分之5，如超過這個范圍，需要使用自動調壓器或磁飽和穩壓器，不能使用電子穩壓器，由于電子穩壓器在電壓高時產生削波，造成電脈沖，影響電子計算機、微處理器及相敏放器的工作，引起誤動作。連續正弦波電源才能保證這些電子電路的正常工作，儀器供電線路單從供電變壓器的配電盤上得到，盡量不與電機，的通風機，空調機，馬弗爐等的用電設備共用一條供電線路，以免在這些用電設備起動時，供電線路的電壓幅度的波動，造成儀器工作不穩定。允許電流于30安培的儀器要單接地。一般光譜儀地線電阻要于5歐姆，計算機地線電阻要于0.25歐姆（ASTM）標準，以防相互干擾。

　　在儀器的使用中，應經常注意電源的變化，不能長期在過壓或欠壓下工作，根據資料介紹，當儀器在過壓下工作會造成高頗發生器功率管燈絲過度的蒸發和老化，電子管的壽命將會的縮短（是正常壽命的五分之～一六分）。如果在欠壓下工作，電子管燈絲溫度過低，電子發射不好，也容易造成電子發射材料過早老化，同樣也縮短電子管的壽命；儀器運行中供電電壓的較波動同樣也會造成高頻發生器輸出功率的不穩定，對測定結果的好壞影響極，因此，應當注意供電電源的質量。

　   防塵

　　國內一般實驗室都不具備防塵、過濾塵埃的設施，當實驗室內需要采用排風機，排除儀器的熱量及工作時產生的有毒氣體時，實驗室與外部就形成壓力差，實驗室產生負壓，室外含有量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內，量積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓元件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，需要經常進行除塵。特別是計算機、電子控制電路、高頻發生器、顯示器、打印機、磁盤驅動器等，定期拆卸或打開，用毛刷清掃，并同時使用吸塵器將各個部分的積塵吸除。對光電倍增管負高壓電源線、及計算機顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許*心的抹除積炭和灰塵。磁盤驅動器及打印機清出灰塵之后，要在機械活動部件滴加少許儀表油。打印機的打印頭還要拆下，用軟毛刷刷掃，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞，然后按照說明書調整一定的打印壓力。對于儀器除塵，一般由電子，儀修或計算機的人員幫助，儀器使用或管理人員如不懂電子知識，不了解儀器結構，不要輕易去動，以免發生意外，除塵應事先停機并關掉供電電源下進行。

    對氣體控制系統的維護保養

　　icp等離子光譜儀的氣體控制系統是否穩定正常地運行，直接影響到儀器測定數據的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩定，因此，對氣體控制系統要經常進行檢查和維護。先要做氣體試驗，打開氣體控制系統的電源開關，使電磁閥處于工作狀態，然后開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，應在幾個時內沒有下降或下降很少，否則氣路中有漏氣現象，需要檢查和排除。第二，由于氬氣中常夾雜有水分和其它雜質，管道和接頭中也會有一些機械碎屑脫落，造成氣路不暢通。因此，需要定期進行清理，拔下某些區段管道，然后打開氣瓶，短促地放一段時間的氣體，將管道中的水珠，塵粒等吹出。在安裝氣體管道，特別是將載氣管路接在霧化器上時，要注意不要讓管子彎曲太厲害，否則載氣流量不穩而造成脈動，影響測定。

　　對進樣系統及炬管的維護

　　霧化器是進樣系統中zui精密，zui關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩定，也影響反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，zui后，用無水乙醇洗并吹干，經常保持進樣系統及炬管的清潔。

　使用中盡量減少開停機的次數

　開機測定前，必須做好安排，事先標好各項準備工作，切忌在同一段時間里開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦開機就一氣呵成，把要做的事做完，不要中途關停機。