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Leybold真空計的量程范圍

來源:東莞市廣聯自動化科技有限公司   2017年11月20日 10:30  

Leybold真空計的量程范圍東莞艾科自動化設備關于它的在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等 。
在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
表2 真空計的適用壓力范圍 真空計的名稱可測的壓力范圍(Pa)水銀壓力計(U型管)10~10油壓力計(U型管)10~10油壓力計(U型管)3*10~1麥克勞真空計(一般型和特殊型) 10~10彈性變形真空計10~10隔膜真空計(機械式)10~10隔膜真空計(電氣式)10~10電離真空計(三極管型)10~10超高真空用B-A型10~10*真空用熱陰極磁控計10~10高真空用(舒爾茨型)10~10冷陰極真空計1~10皮拉尼真空計10~10熱電偶真空計10~10熱敏電阻真空計10~10粘性真空計1~10克努曾真空計10-1~10
萊寶真空計TTR91S,萊寶TTR91S真空計,TTR91S萊寶真空計,真空規管,皮拉尼計
Oerlikon真空計
Leybold真空計的量程范圍按照Oerlikon真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。 如右圖所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。 如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,使用前一般需要預熱數小時。 也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。
如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準確度。
這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。 如右圖所示,熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。 如右圖所示,熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集極收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。
Leybold真空計的量程范圍德國萊寶真空計有:
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表。
- 各種間接測量的數顯真空規,它們是:
- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S
- 冷陰極電離真空規(潘寧規) PTR225
- 薄膜電容規 CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100、TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規 PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規 ITR90
- 便攜式真空表TM90、TM100
- 新型Center和Display系列真空計

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