真空斷路器就是利用消除電弧賴以持續的物理因素,使電弧不能形成或不能持續。在真空斷路器中配用的真空管保持一定的真空度——使開關的動、靜觸頭在開斷負荷電流時,因沒有或存在非常少的可電離介質而使電弧不能產生或持續,達到熄弧的目的。真空斷路器真空下降及真空管漏氣的幾種原因如下:  
1、觸頭行程的影響  
目前國內生產的各種型號的10kv真空斷路器滅弧室,其觸頭超行程按規程規定在4mm左右,開距11mm左右。真空斷路器在安裝或檢修時,應嚴格按照產品安裝說明書中觸頭行程要求準確測量,調整拉桿,防止行程超越,且真空斷路器在每年大檢修中,都應仔細復查斷路器的行程、超行程及觸頭的開距。在實際運行中不乏因斷路器超行程調整不當,造成斷路器合閘過程中機械沖擊引起滅弧室破裂、導電桿變形的事故。  
2,操作機構容量的影響  
真空斷路器現常見的操作機構主要有CDlO型、CDl7型、VSl型以及在上述型號的基礎上,為適應不同的安裝空間而改造的操作機構,近幾年國內部分斷路器又配用了“永磁式操作機構”。配置不同型式的操作機構,在安裝或改造時,均應著重注意操作傳動桿的動作距離,如果容量偏大,將對滅弧室產生嚴重撞擊,造成真空滅弧室波紋管損壞,直接影響真空斷路器的使用壽命,使斷路器真空度降低速度加快。  
3、彈跳的影響  
真空斷路器的觸頭多為平面對接式結構,在分合閘操作中不可避免地產生不同程度的反彈現象。不論分閘反彈還是合閘反彈都會給運行帶來危害:波紋管經受強迫振動可能產生裂紋,使滅弧室漏氣;分合閘時斷路器觸頭運動速度較高,動作終結時沖擊力較大,引發彈跳,可能產生觸頭和導電桿的變形,甚至產生裂紋;切合電容器組的真空真空斷路器如果發生合閘彈跳,還會導致電容器的損壞。因此目前部分真空斷路器廠家已注意到真空斷路器彈跳造成的危害,推出了所謂的“無彈跳”真空斷路器,通過機械緩沖等手段,大大減少了斷路器在分合閘時產生的機械沖擊。  
4、緩沖器的影響  
應仔細檢查緩沖器行程,不應有變形損傷現象或壓縮超量,須留緩沖裕度。部分充油緩沖器應定時檢查緩沖器油位情況,及時補油。  
5、分合閘速度的影響