硅片或玻璃基底上覆有一層透明薄膜,LEXT OLS4100可透過薄膜觀測基底的表面形貌
硅片基底光刻表面形貌測試圖
LEXT OLS4100全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域,并將各層設為焦點,這樣既可實現對透明樣品上表面的觀察和測量,而且也可以對多層樣品的各層進行分析和測量。
透明樣品內層表面形貌觀察和測量
多層模式功能,可以分析透明體層,它可以測量透明層下的幾何形狀和表面粗糙度和膜層的厚度,即使樣品涂有塑料的玻璃基板。
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