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一、分析精度高
電感耦合等離子體原子發射光譜儀可正確分析含量達到10-9級的元素，而且很多常見元素的檢出限達到零點幾μg/L，分析精度非常高。對高低含量的元素要求同時測定，尤其對低含量元素要求精度高的項目，使用ICP-AES法非常方便。
二、樣品范圍廣
電感耦合等離子體原子發射光譜儀可以對固態、液態及氣態樣品直接進行分析，但由于固態樣品存在不穩定、需要特殊的附件且有局限性，氣態樣品一般與質譜、氫化物發生裝置聯用效果較好，因此應用zui廣泛也優先采用的是溶液霧化法（即液態進樣）。從實踐來看，溶液霧化法通常能取得很好的穩定性和正確性。而在測試工作中，運用一定的專業知識和經驗，采取各種化學預處理手段，通常都能將不同狀態的樣品轉化為液體狀態，采用溶液霧化法完成測定。溶液霧化法可以進行70多種元素的測定，并且可在不改變分析條件的情況下，同時進行多元素的測定，或有順序地進行主量、微量及痕量濃度的元素測定。
三、動態線性范圍寬
一般的精密分析儀器都有它的線性范圍（一般在103以下），以明確該類儀器正確測定的濃度區間（不同類型的儀器或同類不同生產廠家的儀器還有區別），假如待測元素的濃度過高或過低，就必須進行化學處理，如稀釋或濃縮富集，使待測濃度位于誤差答應的線性范圍之內。因此，當常量元素和微量元素需要同時測定時，就增加了分析的難度，加大了工作量，而測定結果往往還不理想。 電感耦合等離子體原子發射光譜儀的動態線性范圍大于106，也就是說，在一次測定中，既可測百分含量級的元素濃度，也可同時測10-9級濃度的元素，這樣就避免了高濃度元素要稀釋、微量元素要富集的操縱，既進步了反應速度，又減少了繁瑣的處理過程不可避免產生的誤差。以粉煤灰為例，固態的粉煤灰經過適當的預處理（根據待測元素種類確定預處理方法）轉化成液態，一次進樣既可測定常量的鐵、鋁、鈣等元素，也可同時測定微量的釩、鉬等綜合利用及環境評定時的影響元素，方便正確。
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