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一、當蒸發室真空度達到所需要求工作真空度時，可進行電阻蒸發。操作過程如下：
a.選擇好阻蒸，手動操作擋板機構，使擋板置于蒸發源上方，緩緩調節坩堝溫度升溫待蒸發材料預熔除氣完畢后，打開擋板開始蒸發（使用設備底部磁力驅動把手打開坩堝口）。
b.通過上下鍵設定目標溫度，按下加熱啟停鍵對坩堝進行加熱。
二、蒸發完畢后，對被鍍工件進行一段時間的真空狀態儲存。然后操作真空度。打開放氣閥對蒸發室放氣，待放氣閥完畢后，及時關閉放氣閥。打開蒸發室門，取下工件。
三、取出工件后，應迅速做好下一周期的準備工作。關上蒸發室門，擰緊門框。重復抽真空。蒸發室暴露大氣的時間不應超過15min。
四、關總電源、水源、氣源。 |
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