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1)混床離子交換純化柱:混床離子交換純化柱由陰離子交換樹脂和陽離子交換樹脂按比例混合而成。陽離子交換樹脂用其H＋交換去除水中的陽離子，陰離子交換樹脂用其OH－交換去除水中的陰離子，在混床樹脂中被交換出來的H＋和OH－結合生成H2O，因此混床離子交換純化柱可用來深度去除RO純水中尚存的微量離子。小型實驗室超純水機中的混床離子交換純化柱通常為一次性使用。
2)EDI裝置:連續電去離子EDI（Electrodeionization的縮寫），是利用混床離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下分別透過陰陽離子交換膜而被連續去除的過程。這一新技術可以代替傳統的離子交換（DI），產出10MΩ.cm以上的超純水。EDI深度除鹽的zui大優點是可長期穩定運行，無需用酸堿再生陰陽樹脂，十分適合造水量100L/h以上的超純水中央制備系統，水質穩定，并將大大降低運行成本，TOC也將更低更穩定。
3)除熱源超濾膜:超濾除熱源已廣泛用于現代制藥行業。超濾（Ultrafiltration，縮寫“UF”）膜的孔徑介于反滲透和微濾之間（約0.01～0.1μm），通常用zui小截留分子量來表示。
4)紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器：紫外線殺菌燈采用254nm波長的紫外線照射殺菌，可有效破壞微生物的DNA分子，使之形成TT兩聚體而無法繁殖，是空氣、水安全有效的常用滅菌方法。TOC紫外消解器采用可同時產生185nm/254nm雙波長的紫外線燈管，其中185nm紫外線在空氣中可產生臭氧而殺菌除味，在水中會產生氫氧自由基，可將純水中微量有機物迅速氧化為CO2，達到去除TOC的目的。
5)終端過濾器：孔徑0.22um的終端過濾器可*濾除細菌、真菌及孢子、樹脂碎片及一切微米級污染物。終端過濾器形式有中空纖維式、PP桶過濾器、囊式過濾器、針頭式濾器等，膜材質有聚丙烯、尼龍、聚偏氟乙烯等
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