1、氣體工業名詞術語粒子計數可采用激光粒子計數器或凝聚核粒子計數器。He2Ne激光粒子計數器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質；Ar2Kr激光粒子計數器可分析0105μm粒徑顆粒雜質，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數器。光電塵粒計數器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光，使粒子發射出散射光，經過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變為電脈沖，由脈沖數求得顆粒數。根據粒子散射光的強度與粒徑的函數關系得出粒子直徑。粒子計數器是高純或超高純供氣系統中必*儀器。價格較昂貴。
2、激光塵埃粒子計數器的工作原理激光塵埃粒子計數器基本原理是光學傳感器的探測激光經塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并放大，然后進行數字信號處理，通過與標準粒子信號進行比較，將對比結果用不同的參數表示出來。空氣中的微粒在光的照射下會發生散射，這種現象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，實際上，每個粒子產生的散射光強度很弱，是一個很小的光脈沖，需要通過光電轉換器的放大作用，把光脈沖轉化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經過電子線路的進一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數工作。此時，電脈沖數量對應于微粒的個數，電脈沖的幅度對應于微粒的大小。這就是光散射式激光塵埃粒子計數器的基本工作原理。