高壓電源,又名高壓發生器,英文:High voltage power supply,一般是指輸出電壓在五千伏特以上的電源,一般高壓電源的輸出電壓可達幾萬伏,甚至高達幾十萬伏特或更高。直流高壓電源 我們通常所說的高壓電源,一般泛指直流高壓電源,直流高壓電源又有線性調整高壓電源和開關型調整高壓電源兩種。其技術發展方向主要有兩個,一是提高電源功率,即高電壓、高電流;二是縮小電源體積,即高電壓,小體積,縮小電源的體積主要是提高電源的開關頻率。高功率電源,往往體積較大,而小體積電源,往往電流較小,功率較低。除此之外,高轉換效率,高負載,高精度,低紋波,也是高壓電源設計者的研究方向。
高壓電源用途很多,主要包括了X光機高壓電源,激光高壓電源,光譜分析高壓電源,無損探傷高壓電源,半導體制造設備高壓電源,毛細管電泳高壓電源,無損檢測高壓電源,半導體技術中的粒子注入高壓電源、物理汽相沉積高壓電源(PVD),納米光刻高壓電源。
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