基板玻璃搬運(yùn)機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器 
平板顯示行業(yè)是我國的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，我國已經(jīng)成為全*二大生產(chǎn)基地。基板玻璃是平板顯示行業(yè)的重要基底材料，其質(zhì)量直接決定著液晶顯示器的優(yōu)劣。在液晶屏的生產(chǎn)過程中，基板玻璃要經(jīng)過模組、刻蝕、切割、罐液、貼片、清洗等多個(gè)工藝過程，需要在各個(gè)生產(chǎn)線上循環(huán)搬運(yùn)，因此如何提高搬運(yùn)機(jī)器人的搬運(yùn)效率和搬運(yùn)穩(wěn)定性成為關(guān)注的重點(diǎn)。

基板玻璃搬運(yùn)機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器            對基板玻璃搬運(yùn)機(jī)器人的末端CAMOZZI執(zhí)行器進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)學(xué)研究和優(yōu)化設(shè)計(jì)，同時(shí)設(shè)計(jì)了機(jī)器人的軌跡優(yōu)化方案，并進(jìn)行仿真驗(yàn)證，zui終提高了搬運(yùn)機(jī)器人的效率和穩(wěn)定性，并將設(shè)計(jì)和研究成果應(yīng)用于實(shí)際項(xiàng)目中，取得良好效果。首先，介紹了國內(nèi)和國外基板玻璃搬運(yùn)機(jī)器人的發(fā)展和研究現(xiàn)狀，以及機(jī)器人軌跡規(guī)劃的研究現(xiàn)狀。利用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)和制作了一種微量取樣CAMOZZI執(zhí)行器。CAMOZZI執(zhí)行器由微針、微通道、反應(yīng)室、電極以及永磁微陣列等各部分組成,通過外部磁場可以實(shí)現(xiàn)雙向線性地驅(qū)動(dòng)。利用SU-8光刻膠為主要材料,采用多級曝光和電鑄金屬實(shí)現(xiàn)3D結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù),研制出了微針CAMOZZI執(zhí)行器的雛形器件。針尖的尺寸為500μm×60μm×60μm,針孔截面為20μm×20μm。根據(jù)基板玻璃大尺寸、厚度薄、易破碎等特性，提出了末端CAMOZZI執(zhí)行器優(yōu)化設(shè)計(jì)的目標(biāo)，并將機(jī)器人zui短運(yùn)行時(shí)間和zui小抖動(dòng)作為軌跡優(yōu)化指標(biāo)。其次，對機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器的失效方式進(jìn)行探討，通過對機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器的工作流程的分析介紹，對機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器進(jìn)行設(shè)計(jì)分析。完成機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器的設(shè)計(jì)后，基于Solidworks Simulation對基板玻璃進(jìn)行受力分析，通過分析基板玻璃形變，完成機(jī)器人末端CAMOZZI執(zhí)行器設(shè)計(jì)優(yōu)化。再次，建立機(jī)器人的連桿參數(shù)，用D-H法建立連桿坐標(biāo)系，建立機(jī)器人正運(yùn)動(dòng)學(xué)、反向運(yùn)動(dòng)學(xué)模型，分析了機(jī)器人的奇異位形，避免機(jī)器人運(yùn)動(dòng)過程中出現(xiàn)運(yùn)動(dòng)死點(diǎn)。zui后，基于多目標(biāo)遺傳算法，設(shè)計(jì)了以時(shí)間和抖動(dòng)為*目標(biāo)的優(yōu)化方案，采用B樣條曲線作為機(jī)器人構(gòu)造軌跡的方式，建立其軌跡優(yōu)化模型，對機(jī)器人進(jìn)行軌跡規(guī)劃；經(jīng)過遺傳算法的優(yōu)化，使得基板玻璃搬運(yùn)機(jī)器人的時(shí)間和抖動(dòng)綜合達(dá)到*，完成了研究目標(biāo)。