1/f噪聲測試系統介紹



1/f噪聲也叫閃爍噪聲（flicker noise），是有源器件中載波密度的隨機波動而產生的，它會對中心頻率信號進行調制，并在中心頻率上形成兩個邊帶，降低了振蕩器的Q值。由于1/f噪聲是在中心頻率附近的主要噪聲，因此在設計器件模型時必須考慮到它的影響。
1/f噪聲已經成為現代集成電路和*器件的設計挑戰，特別是對模擬，射頻及超大規模數字集成電路、*存儲器件、納米光電器件，能否準確的在設計中考慮噪聲會極大影響器件的性能。在存儲器中，影響讀寫噪聲容限。在現代工藝中，工藝的波動也會對器件噪聲有明顯的影響，因此在產線測試中，要求噪聲測試系統能夠覆蓋多晶圓，多die，對測試樣品數量和速度的提升有要求。 另外空間輻射，核輻射會影響半導體器件的表面態，而噪聲跟表面態關系緊密，所以通過測試輻射后的器件噪聲也可以有效分析輻射對器件性能的影響。

1.      NC300A 噪聲測試系統框圖
 
        NC300A噪聲測試系統提供了快速的和可靠的低頻噪聲（1/f噪聲或Flicker），用戶可以使用探針臺連接器件，或者進行PCM（工藝過程監控），系統提供一個完整的噪聲數據分析和建模（包括統計噪聲的模型），用戶也能利用系統來對電路上的1/f噪聲的影響進行分析，系統包括硬件和軟件。

2.      產品特點：
 
·         系統噪聲底：<10-29A2/Hz；
·         DUT（待測器件）偏置電壓zui大范圍：±100V；
·         頻率范圍：0.5Hz—10MHz；
·         支持的器件類型：MOSFET，BJT，二極管，電阻（半導體應用中與噪聲相關的基本器件類型均支持；
·         支持RTS（隨機電報信號或popcorn噪聲；
·         支持晶圓圖形；
·         典型測試時間（每次偏壓）：15秒；
·         包括數據分析和建模；
·         集成化高： 適合環境下測試，無需跟其它儀器配合；
·         高Roll-off頻率；

 15秒（NC300A噪聲測試儀）Vs 4分鐘（其他產品）

小電流測試的Roll-off對比
 
3. NC300A  硬件及軟件操作
硬件外形：

NC300A軟件操作界面友好，簡便，用戶很容易上手操作。

NC 300A控制軟件
 
4.  典型配置
 
NC-300A 1/f噪聲測量系統：
 
·         測量控制單元，帶GPIB接口；
·         NC-300A 主機箱；
·         可程控直流電源；
·         低噪聲電流放大器；
·         噪聲測試和分析軟件；