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X射線熒光光譜儀開機操作及關機后都有其需要注意的地方的
X射線熒光光譜儀基本的操作步驟
(1)開機
①開啟斷電保護開關，同時檢查有無異常現象，如有跳閘情況出現，應查明原因；
②開啟穩壓電源開關，如是UPS，則后面的旁路開關必須處于關閉狀態；
③開啟儀器主機電源開關，主機就緒后開啟計算機，打開儀器附件，連接就緒后運行儀器工作站，檢查儀器連接有無異常，檢查儀器真空度。
④順時針90°擰動主機前的鑰匙開啟高壓開關，檢查X光管冷卻水流量、液氮的液位以及溫度，正常后開啟探測器高壓。
⑤儀器穩定后對儀器進行校正，了解儀器的運行狀況。
(2)關機
①樣品測試完畢，保存好測試文檔之后，關閉探測器高壓，逆時針90°擰動主機前的鑰匙關閉高壓開關，退出工作站，關閉所有運行程序。
②關閉計算機主機。
③按順序依次關閉顯示器等儀器附件、儀器主機、穩壓電源的電源開關，就緒后關閉總電源開關。
(3)X光管的老化由于儀器停機時間太長或x光管初次使用時，馬上加載高壓大電流使用，容易損壞X光管，所以必須進行X光管老化處理。如停機時間大于24h但小于100h，應進行0．5h的老化處理，如停機時間大于100h，應進行3h的老化處理。長時間不開高壓，開高壓時儀器會自動進行3h的長時間老化。
(4)填充液氮正常工作狀態下，應根據液氮消耗情況按時填充液氮。采用增壓的方式填充液氮，填充液氮時，為防止液氮飛濺，液氮罐的出口壓力應小于1MPa(0．5～1MPa)。當液氮在已經用完的情況下再填充時，為防止液氮罐內部殘留的水滴結冰，影響探測器效率，要確保儀器液氮罐內沒有水且探測器達到室溫1h后方可填充液氮。
X射線熒光光譜儀的應用非常廣泛，涉及：電力、石化、考古、金屬加工、壓力容器、廢舊物資回收、航空航天、地質勘探、礦山測繪、開采、礦石分選、礦產貿易、金屬冶煉、環境監測、土壤監測、玩具、服裝、鞋帽、電子產品等眾多領域。