用Optima 2000DV法測定M5鋯合金中鈮和15種雜質元素含量,經方法優化，結果為方法測定范圍：Nb為0.5%～1.5%；A1、Mn、Mo、Ni、Ti 、Cu、V: 20μg/g～200μg/g；Ca、Co ：5μg/g～50μg/g；Cd:0.2μg/g～2μg/g；Sn、Cr、Ta：30μg/g～300μg/g；Pb：50μg/g～500μg/g；Fe：100μg/g～1000μg/g。方法測量的相對標準偏差鈮優于4.0%，其它元素優于10%，回收率為90%～110%。
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