主要通過以下幾個方面對真空泵油的好壞進行區分：
1、極低的蒸汽壓：這是真空泵油的重要性能指標。蒸汽壓越低真空度就會越高，由于旋片真空泵要求真空度達到0.06Pa，高的要求達到1.33×10－4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸發性極低．一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
2、合適的粘度，良好的粘溫特性：真空系統利用泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。（粘溫特性是指，隨著泵內溫度的升高或降低，真空油的粘度會產生變動。粘溫特性好的真空油，粘度隨溫度的變動就越小。）
3、良好的熱氧化穩定性：真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環境溫度下工作，熱氧化差就會使真空泵油氧化變質。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的熱氧化穩定性。
4、良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。
5、較高的閃點：要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。（可燃液體揮發的蒸汽與空氣混合達到一定濃度遇明火發生一閃即逝的燃燒，或者將可燃固體加熱到一定溫度后，遇明火會發生一閃即燃的閃燃現象，叫閃燃。發生閃燃時的固體低溫度稱為閃點。）
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