納米薄膜的定義：納米薄膜是指由尺寸為納米數量級的組件鑲嵌于基體所形成的薄膜材料，它兼具傳統復合材料和現代納米材料二者的*性，它具有納米材料的特殊結構，即晶粒和晶界都都屬于納米尺寸數量級。
典型的納米薄膜應該是以納米粒子或原子團簇為基質的薄膜體，或者薄膜的厚度為納米尺寸數量級。
目前對薄膜的研究很多集中在納米復合薄膜上，它們具有廣泛的應用前景，可分為納米復合功能薄膜、納米復合結構薄膜、LB薄膜、巨磁阻顆粒薄膜材料等都是納米薄膜材料。而以層狀化合物剝離成納米片材料再以LBL法組裝成納米薄膜更是吸了眾多的科學家。
納米材料氧化鈮薄膜的特性
氧化鈮薄膜由于*的物理和化學性質被廣泛地用于光學干涉濾波器、電化色薄膜和氣體傳感器中。
它光學波導損耗小，對紫外有較強的吸收，可作紫外敏感材料的保護膜，是一種具有優異光學性能的材料。它也是性能優良的電致變色材料，它的電致變色性能可與獲得廣泛研究的WO3的性能相媲美，而且氧化鈮與氧化鎳也能組成性能匹配的互補性電致變色玻璃。
氧化鈮薄膜高折射率、大光學帶隙、高化學穩定性和抗腐蝕性等性能使得其被廣泛的運用于生產生活中。
目前制備氧化鈮薄膜的方法主要有電子束蒸發、離子束反應濺射法、反應磁控濺射法和溶膠凝膠法等。不同的沉積方法和制備過程參數對制備薄膜的結構、形貌和光學質量等有很大影響。
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