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根據新思界產業研究中心發布的《2021-2025年高純鉭行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，高純鉭是大規模集成電路生產所*的關鍵材料。我國集成電路產業發展迅速，現階段是quan球最大的集成電路市場，且增長速度高于全球平均水平，為高純鉭行業帶來廣闊市場空間。2020年，我國集成電路市場規模超過1400億美元。集成電路是電子信息產業的重要組成部分，在信息化時代背景下，高純鉭需求規模將持續增長。

高純鉭 靶材 鉭靶

高純鈮 靶材 鈮靶

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01

He作為RQ cell碰撞氣體測試

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選擇5.0mL/min He作為RQ cell碰撞氣體進行測試，發現Ag受到干擾(14N93Nb等)影響，在5.0mL/min He流量下干擾能得到改善。

02

測試結果及回收率

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為考察方法的準確性，對樣品進行加標回收率測試，在樣品中加入1μg/mL雜質元素標準溶液，測試結果及回收率如表所示。

表. 樣品測試結果及回收率

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03

Ga和Rh內標穩定性

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儀器接口對該類樣品的耐基體效應，分別以高純鉭和高純鈮試劑為基準，連續泵入加標溶液，并每隔10min對加標液進行監控，Ga和Rh內標穩定性如下圖所示：

結論

結果表明回收率和穩定性較好，賽默飛iCAP RQ儀器能滿足生產工藝中高純鉭、高純鈮的產品質量控制需求。

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