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u應用簡介
如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質量的樣本成像,樣本需要具有導電性,以避免電荷聚積。如果樣本沒有足夠高的導電性,您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導電層。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法。 這類鍍膜既可以保護樣本,增強電子顯微成像的對比度,又可以作為小規模樣本的透射電鏡載網支撐膜。
u設備概述
FSEM A200噴金儀適用于常規SEM和TEM分析。該設備是全自動系統,從而使操作變得極為簡便。秉承人體工學設計理念的同時,緊湊的外觀設計和更小的桌面占用面積為您大大節約了實驗室空間。FSEM系列噴金儀為全閉環真空設計,配有全量程皮拉尼真空計等多個傳感器實時監控運行狀態,保證儀器安全穩定運行。采用高性能旋葉真空泵,快速獲得<1Pa的真空環境,高精度的濺射電源采用恒流控制,鍍膜更純,膜厚更準,結果重復性更好。
u產品特點
◇ 設計美觀,操作簡單,界面友好、一鍵鍍膜
◇ 可直接放置12個標準釘型樣品臺,無需工作人員介入,節省人力和時間
◇ 采用ARM架構,全自動控制,控制精度高,操作簡單
◇ 低電壓,穩定真空環境,可濺射多種常用金屬金、鉑、鈀、銀等
◇ 濺射顆??蛇_納米級別,濺射顆粒<5nm制備薄膜致密,適合高分辨SEM使用
◇ 采用磁控濺射技術,利用平面磁場減少溫度的變化,適用于溫度敏感樣品
◇ 配有多個傳感器實時監控運行狀態,保證儀器使用安全
◇ 長期運行,穩定可靠,無需特殊維護
◇ 具備開關機數據存儲記憶,修復長期應用偏差
◇ 儀器可全自動控制,更方便用戶實現各種自動化控制操作
◇ 軟件遵循GMP規范,方便實現用戶管理,使用記錄等功能
u技術參數
設備型號 | FSEM A200 |
濺射類型 | 低壓磁控平面濺射 |
靶材尺寸 | 直徑50mm,優靶材利用率 |
控制模式 | 5寸觸摸屏全自動程序控制 |
真空系統 | 機械旋葉泵,極限真空<1Pa真空抽速1L/s |
真空測量 | 全量程皮拉尼數字真空計 |
工作真空 | 2-8Pa,真空精度可達0.1Pa |
樣品臺 | 可升降,可放置12個標準釘型臺,直徑可達65mm |
濺射電源 | 恒流磁控DC濺射電源300-600V,Max50mA控制精度可達1mA |
濺射時間 | ≤600s,控制精度1s |
真空腔室 | φ130×100mm |
供電要求 | 200-240VAC 50Hz,功率500W |
外形尺寸 | 420×260×280mm |
u配置清單
序號 | 名稱 | 規格 | 數量 |
1. | 噴金儀主機 | FSEM A200 | 1臺 |
2. | 鉑金靶材 | φ50×0.1mm | 1個 |
3. | 真空管路 | KF16-1.2m | 1根 |
4. | 機械真空泵 | VRD-4 | 1臺 |
5. | 合格證、保修卡、說明書、裝箱單 | / | 1套 |
u服務承諾
1、產品到達貴公司后,我公司工程師可在貴公司準備好設備所需外部條件(如水、電、氣等)后,負責該設備的安裝、調試、啟動工作,并提供良好的技術支持和售后服務,同時對貴公司使用人員進行設備使用培訓,保證受訓人員能夠獨立、熟練操作設備和完成簡單的維修工作、設備日常維護工作。★復雜設備,此項工作在用戶現場進行,簡單設備,此項工作遠程視頻指導進行,具體按照雙方合同條款執行。
2、我公司產品在貴公司負責人驗收合格書上簽字之日起計算,免費保修壹年。在免費保修期內,產品發生非人為質量問題,我公司為貴公司提供免費維修。如產品在免費保修期外出現故障,維修服務只適當收取人工費與材料成本費,并采取“先維修后付費"的原則。
3、我司擁有全國客戶支持中心,通過電話及視頻通話及時幫助全國客戶解答問題,擁有一支訓練有素的工程師隊伍為全國各地的客戶提供優質、快速的上門服務。我司在接到貴方的故障通知后,保證在 0.5 小時內做出響應,如有需要,確保在12小時內到達客戶現場排除故障。
4、我公司承諾在該設備的使用期間,可無償、無限期地提供該設備的技術支持工作。
5、我公司承諾提供免費軟件升級服務(如涉及)。
6、我司工程師長期免費為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協助。
7、我司有完善的配套耗材體系,客戶有新材料需要制樣時,免費為客戶提供合適的耗材進行測試。
8、由于我司和SGS、華測檢測、上海機械協會失效分析委員會、上海市電子學會SMT/MPT專委會、北京科技大學、蘇州大學等行業三方檢測機構和學術機構有深入合作,我方承諾為客戶失效分析實驗室提供長期免費咨詢服務和引薦服務。