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5810i 離子平衡頂置式鼓風機Simco-Ion 思美高
5810i 離子平衡頂置式鼓風機Simco-Ion 思美高
■與外部傳感器(NOVX 3150/3350/3360/7000 等)
結合使用時可實現(xiàn)高精度 +/-1v 離子平衡
(不使用外部傳感器時為 +/-3v)
■高潔凈兼容性
■ 5802i、5810i、5822i 型離子發(fā)生器風機
專為在潔凈室中使用而
設計,高度潔凈且符合 ISO 4 級(聯(lián)邦標準 209E 10 級)標準
■專有的自動離子平衡控制
可延長維護周期
■配備風扇停止警報
■可選的自動電極清潔機制
■
高可靠性和本地支持,并有 全球眾多交付記錄作為后盾
輸入電壓 | 100-240V交流電+/-10% 50/60Hz |
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外部的 | 鋁上的環(huán)氧/聚酯粉末涂料 |
離子發(fā)生方法 | 穩(wěn)態(tài)直流法 |
電極 | 鈦合金8片/扇 |
風量 | 144cfm 典型值/風扇 風扇速度 = 高 |
除靜電時間 | <3秒。 45cm距離。1kv→100v。晶圓廠速度 = 高 |
離子平衡 | <+/-1v 典型值(帶外部傳感器)+/-3v(不帶外部傳感器) |
尺寸 | -32:高96毫米 x 深155毫米 x 長813毫米 -40:高96毫米 x 深155毫米 x 長1016毫米 -44:高96毫米 x 深155毫米 x 長1118毫米 |
重量 | -44:鋁制機身規(guī)格4.6kg |
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