氧化鋯傳感器SD16/25/40NW/3/8R-2東麗TORAY

氧化鋯傳感器SD16/25/40NW/3/8R-2東麗TORAY

 氧化鋯型EtherCAT氧氣濃度計LD-600/SD傳感器

低于 10 ppm

10 ppm 或更多

1000ppm（0.1%）或更多

負壓/大氣壓

直流電源

EtherCAT

CE標志

LD-600/SD EtherCAT 通信氧氣濃度計是本公司在半導體、電子行業用氧氣濃度計領域多年積累的制造經驗，充分利用其制造技術，專門為真空設備等開發的產品。

配備了本公司 的小型氧化鋯傳感器，可實現長期穩定、高精度的測量，同時還配備了氧氣傳感器保護機制，實現了超越傳統產品的耐用性。此外，氧氣傳感器和轉換單元設計為分離的，使其非常適合納入需要更高速處理的設備和應用中。

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操作說明

產品特性

產品規格

系統配置圖

SD 傳感器安裝模式示例

方面

常問問題

相關產品

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產品特性

- 可以進行 EtherCAT 通信

非常適合嵌入使用 EtherCAT 通信的設備和應用程序。

?可節省安裝空間

氧傳感器與薄型轉換器分離，大大減少了安裝空間的限制。

?適用于真空環境

直插式傳感器不需要采樣，因此即使在真空環境下也可以進行測量。

- 超快響應

單獨的傳感器提供最短的響應時間。

-高度耐用的傳感器

傳感器采用特殊涂層以確保高耐用性。

*有關SD傳感器的詳細特性和規格，請參閱SD傳感器產品目錄。

?符合標準

CE標志：EN61010-1、EN61326-1

RoHS指令：EN63000

商品名稱

EtherCAT®是德國 Beckhoff Automation GmbH 授權的注冊商標和 技術。

LD-600 前面板

SD傳感器（4種）

產品規格

設備規格

形狀分離型（轉換器：固定/壁掛式，傳感器：直插式） 

顯示方式無顯示 

測量范圍0.001ppm 至 100%（10 -20至 10 -0 atm 設置可選）

以 ppm 為單位的浮點輸出 

傳感器連接ISO 真空法蘭 NW16、25、40

或 R3/8 螺紋 

聯系轉換器與傳感器之間的連接是通過專用線進行的，

標準長度為2m，最大長度為10m。 

參考氣體氣氛 

大量的轉換器LD-600：約。 0.8公斤 

傳感器SD16NW：大約0.2kg

SD25NW：約0.2kg

SD40NW：約0.35公斤 

外形尺寸轉換器LD-600：65（寬）x 130（高）x 125（深）

（單位：mm，不包括突出部分） 

傳感器SD16NW：總長100mm（檢測部φ11×39、主體部φ40×51）

SD25NW：總長100mm（檢測部φ11×42、主體部φ40×48）

SD40NW：總長100mm（檢測部φ11×41、主體部φ40×49）

（單位：mm，不包括突起部分）

注：根據客戶對各個檢測部分的規格，傳感器單元將是SD16NW、SD25NW或SD40NW之一。 

特征

重復性0 至 1% 范圍或以上：±0.5%FS 或

以下 0 至 1% 范圍以下：±1.0%FS 或±0.1ppm，取較大者

*0 至 1ppm 范圍或以下不保證 

氣點穩定性±1%FS以下/24小時 

預熱時間6分鐘或更短 

工程規格

通信輸出規格通信方式：EtherCAT I/F（符合 ETG 5003.1、ETG5003.2）

配置文件：通用設備配置文件

協議：兼容 ETG 5003.1 CDP（CoE、FoE） 

樣氣條件請勿在還原性氣氛中使用。另外，如果測量氣體的比熱較高，例如高濃度的He，則可能無法使用它。

溫度：0～100℃

壓力：10 -3 Pa～200 kPa（絕對壓力）

濕度：低于環境溫度的

露點 流量：0.5～5 L/min或0 L/min（自然擴散條件下測定） 

預熱時間6分鐘或更短 

電源電源：DC24V、3A

功耗：80VA（穩定時：30VA） 

安裝條件安裝位置：室內，非防爆區域

環境溫度：轉換器：0 至 40°C

　　　　　傳感器單元：0 至 50°C

環境濕度：35 至 80% RH（無凝結）

安裝溫度：轉換器：0 至 40°C

　　　　　　傳感器單元：0 至 100°C

不得包含易燃成分、鹵素、二氧化硅或腐蝕性成分 

對于上述規格以外的要求，請另行聯系我們。