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日本原裝Lintec 琳得科高性能數字質量流量控制器MC-3252L

2025-4-23  閱讀(162)

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日本原裝Lintec 琳得科高性能數字質量流量控制器MC-3252L
日本原裝Lintec 琳得科高性能數字質量流量控制器MC-3252L

Lintec 環境溫度補償傳感器即使在低溫下也能實現高精度流量測量。 它抑制了由于傳感器受熱而隨時間推移而引起的劣化,即使在臭氧等高度可降解的氣體下也能實現流量控制。 作為選件,高性能、全能數字質量流量控制器,可用于液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面到面對面和接頭規格。 高性能質量流量控制器 長處 精度±1%S.P. 工作溫度:5~50°C 金屬密封件 清潔(保證顆粒) 環境溫度補償傳感器 RS-485 通信 選擇 微流量 F.S. 與液化氣兼容 寬 使用示例 半導體制造前端工藝 由于 CVD(化學氣相沉積)ALD 沉積設備和蝕刻設備中使用了高反應性氣體,因此必須采用具有高耐腐蝕性的金屬密封的氣體質量流量控制器。 此外,在常溫常壓下,前驅體中含有大量的液化氣體,因此具有耐熱溫度和難以再液化的閥門結構很重要。 MC-3000L 高精度質量流量控制器可選擇支持液化氣體,最高工作溫度為 50°C(可選 55°C)。 分析器 可能需要分析儀來控制微小流速,但一般質量流量控制器的最小 F.S. 為 5 SCCM,這無法控制微小流速。 MC-3000L 高精度質量流量控制器可選擇 F.S.1 SCCM 或更低規格制造。 請聯系我們了解詳情。 此外,MC-3000L 高精度質量流量控制器標配小死體積隔膜閥。

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