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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
中級會員·2年您現在的位置： 玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>Osaka Vacuum大阪真空>> TG60F/TG60F-20Osaka Vacuum大阪真空小型通信復合分子泵
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- 個性化：
- www.tamasakisci.cn
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 分子泵 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池 |
Osaka Vacuum大阪真空小型通信復合分子泵
特點：
輕巧設計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
多種通信模式
產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空小型通信復合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型通信復合分子泵
全面安裝
輕巧設計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
多種通信模式
用途
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學部件制造
加速器，放射線設施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 型號 | TG60F | TG60F-20 | |
| 吸氣口法蘭 | ISO-R63、CF63、(KF40)※4 | ||
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 60 | |
| N2(附加金屬保護網) (L/s) | 55 | ||
| H2 (L/s) | 22 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 極限壓力 | VG?ISO-R/CF (Pa) | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| VG?ISO-R/CF (Torr) | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大氣體流量※1 | 自然風冷 N2 (sccm) | 10 | |
| 制風冷 N2 (sccm) | 20 | ||
| 啟動時間 | (min) | 1.5-2 | |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 800 （6） | |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧25 | |
| 重量※2 | ISO-R/CF(kg) | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器型號※3 | TC65 | TC66 | |
| 輸入電壓（V） | DC24V | AC100-230V(±10%) | |
| 所需最大電力（W) | 120W | 160VA | |
※1：輔助泵的容量是25L/min情況下的最大容許流量
※2：TG60F的情況。TG60F-20查看右方記載。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可選擇泵和控制器一體型(TC65)或者是分離式型(TC66)
※4：關于吸氣口法蘭KF40的規(guī)格請另行咨詢銷售人員。
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃
[ 對應氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。
