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產品簡介
詳細介紹
CVD系統管式爐OYS-1200C-Ⅲ+GYS-4F+JXB-12+真空連接配件CVD系統管式爐
OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐
一款三溫區開啟式管式爐，其最高溫度可以達到1200℃（1200℃<1H）。爐管為高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭，可以在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統，可設置30段升降溫程序，控溫精度±1℃。
技術資料 | |
產品型號 | 翻蓋爐 OYS-1200C-Ⅲ（φ50、φ60、φ80、φ100 |
主要產品參數 | 電源：220V 50/60Hz 額定功率：7.1 KW 最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h） 連續工作溫度：1100 ℃ 推薦升溫速率：≤10℃/min 加熱區長度：加熱區長度：900mm 熱電偶：K型 外形尺寸：1675mm*645mm*865mm |
爐體結構&溫控 | 爐體結構&溫控：采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統；爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料，減少能量損失；內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高反射率及設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命；三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制；包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；控溫精度±1℃；默認DB9PC通信連接端口；可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據 |
加熱元件 | 鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb |
爐管尺寸 | 石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100 |
真空密封 | 標配：一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈； 選配：為了更快的獲得較高的真空度，建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數字式真空顯示計； |
法蘭接口 | 為了得到較好的真空狀態出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接；多種接頭可選，具體請咨詢我公司銷售經理； |
真空度 | 采用雙旋片式機械真空泵真空度可以達到10-2torr；如您想獲得更高的真空度（＜10-5torr or better）可選國產或進口高真空機組； |
可選 | 本公司還可以提供防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8*105至1125torr，不需因測量氣體種類不同而需要轉換系數 |
認證標準及核心零部件 | CE、UL等認證，核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件； |
售后 | 質保期一年，終身維護；24小時在線服務 |
注意事項 | 爐管內氣壓不得高于0.02MPA；由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生(如爐 管破裂，法蘭飛出等)；氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
免責聲明 | 本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等) 僅供參考。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與我司銷售人員聯系。本信息不構成任何要約或承諾，我司會不定期完善產品，恕不另行通知，請您見諒。 |
浮子流量控制系統GYS-4F
GYS-4F是一款三通道混氣系統（1單獨3混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、手套箱、等離子清洗機、CVD系統、小型PECVD系統等
技術資料 | |
產品型號 | 供氣系統 GYS-4F |
產品特點 | 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續供氣系統。 尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。 氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。 顯示流量準確，可有效控制氣體的消耗量 設備底部有滾動輪，方便移動使用方便，無需通電 |
產品參數 | 浮子流量計量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min；25-250mL/min; 精度:4% 壓力表量程:-0.1-0.15MPa 通氣管道: φ6.35mm的聚四氟管 選配：浮子流量計量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。 |
混氣罐 | 內置一個不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體 混氣罐尺寸:直徑76*長154mm |
氣口/閥門 | 背面的進氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設備的進氣口 兩個通道氣體進入混氣罐混氣，一個氣體通道獨立 前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進出，獨立通道的進出氣不受針閥控制。 |
產品尺寸 | 外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm 重量：約30Kg |
售后 | 質保期一年，終身維護；24小時在線服務 |
免責聲明 | 本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等) 僅供參考。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與我司銷售人員聯系。本信息不構成任何要約或承諾，我司會不定期完善產品，恕不另行通知，請您見諒 |
真空系統JXB-12參數表
JXB-12是一套低真空機組，其極限真空度為10-3torr。內部安裝有雙旋機械泵TRP-12配套使用，其接口為KF25接含有電阻真空計DGR-52和連接管道接頭等。
技術資料 | |
產品型號 | 真空系統JXB-12 |
產品特點 | 610*610mm的承重臺面，可配合微元素管式爐使用，節約空間。 極限真空度可達到10-3torr，滿足大多數真空實驗要求。 滾輪上裝有制動裝置，提高安全性。 |
產品參數 | 電源:AC220V 50/60HZ 功率:1KW 抽氣速率:3L/S 極限真空度:1.0*10-1Pa |
電阻真空計 | 電源:AC220v 50HZ 功率:≤6W 測量范圍:1.0*10-1Pa~1.0*105Pa 有效范圍:1.0*100Pa~1.0*104Pa 測量環境:非腐蝕性密封容器 測量精度:＜±30% 顯示方式:LCD數顯 |
高真空手動擋板閥 | 高真空專用不銹鋼閥門，采用氟膠圈密封,KF25卡箍連接 連接口:兩個KF25接口。 漏率達5*10-9Pam3/s。 |
產品尺寸 | 外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm 重量：約50Kg |
認證標準及核心零部件 | CE、UL等認證，核心零部件有ABB、歐 米茄、東明等 |
售后 | 質保期一年，終身維護；24小時在線服務 |
免責聲明 | 本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等) 僅供參考。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與我司銷售人員聯系。本信息不構成任何要約或承諾，我司會不定期完善產品，恕不另行通知，請您見諒 |
真空連接配件：（選購）
KF25卡箍
KF25盲板
KF16卡箍
KF16盲板
不銹鋼波紋管KF25口
手動真空擋板閥KF25口
電阻真空計：測量范圍：1.0x105pa——1.0x10-1pa
INFICON 皮拉尼電容膜片真空計：測量范圍：3.8x10-5- 1125Torr