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當前位置:> 供求商機> ABN-450-S4-磁控濺射鍍膜

[供應]ABN-450-S4-磁控濺射鍍膜

貨物所在地:江蘇淮安市

產地:江蘇省淮安市清江浦區清浦工業園

更新時間:2024-06-26 08:29:47

有效期:2024年6月26日 -- 2025年6月26日

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磁控濺射鍍膜采用電阻式熱蒸發結構,該系統可蒸鍍多種金屬材料(金、銀、銅、鋁等),也可以蒸鍍多種有機材料(NPB、ALq3、BCP、TPBi、C60等),以及多種無機材(LiF、SnO2、MoO3等)。該系列設備廣泛應用于各高校、科研院所、科研實驗室以及企業前期探索性實驗等。

  磁控濺射鍍膜的產品特點:

  1.真空系統

  真空腔體由標準的304不銹鋼焊接而成,內部形狀為長方體,其尺寸為600mm*600mm*700mm,電解拋光處理,減少內部材料放氣現象。真空腔體上安裝有電極,基片系統,真空系統,氣路系統等部件;真空腔體配備兩個可以打開的門,前門為移門,通過與直線導軌,滑塊等裝置連接,可使前門左右開啟與關閉,后期也可以連接手套箱,在手套箱內部操作前門開關,確保整個工作環境處于氮氣或惰性氣體氛圍中;后門旋轉門,通過旋轉軸實現后門的開關,開啟后腔體內部暴露在空氣中,主要的目的為維護檢修,并配一個長方形觀察窗,配合腔體外部照明燈,方便觀察腔體內部狀況。腔體側面裝有抽氣主管道,分子泵,插板閥,真空計,充氣閥,角閥等真空配件,在腔體潔凈,無污染的情況下,極限真空5*10-5pa,四十分鐘可達到大氣至5*10-4pa,系統停泵關機12小時后,真空度≤5Pa。該系統可以在不停分子泵的前提下,對腔體內部材料添加、更換,也可以取放基片。

  2.樣品系統

  該設備的樣品架采用嵌入式結構,可搭載一片210mm*210mm基片,向下兼容,也可以搭載多片定制數量小基片;基片帶冷卻系統;掩模版到基片距離小于0.1mm。

  樣品架通過旋轉軸,磁流體,聯軸器,電機等裝置連接,從而可實現0~30轉/分鐘。配備1套基片擋板系統,可以根據實際工作需求開啟與關閉。

  3.沉積系統

  該系統配備4組蒸發源,可對金屬,有機,無機物等材料進行蒸鍍,每組蒸發源均配備冷卻系統,4組蒸發源按照R-D-matin-ME系列舟蒸發源設計;源和源之間有隔板,防止交叉污染及隔絕一定溫度輻射。

  各個源均可通過繼電器切換與一臺可編程直流電源連接,電源設定為恒流模式,調節電流的大小來對蒸發源上的負載進行加熱,(TDKGEN8-1801.5KW可編程直流電源,升溫溫度1500℃,精度0.1A)從而使得負載上的材料達到一定溫度后發生蒸發現象。通過膜厚儀上的數據,可實時反饋出材料蒸發的速率(采用1臺InficonSQC-3102通道膜厚儀,厚度和速率分辨率±0.015?,速率顯示0.01?/s,可同時顯示2個膜厚探頭的讀數),沉積厚度等信息。也可以通過編輯膜厚儀程序,到達自動蒸鍍的效果。

  4.控制系統

  磁控濺射鍍膜采用工控機控制系統,可實現自動一鍵式抽真空,也可以在手動模式下,控制機械泵、角閥、插板閥、分子泵的開啟和停止,軟件中含有各個電氣設備的軟件互鎖和狀態反饋,確保不會因誤操作導致設備的損壞,還可以在手動模式下,控制基片旋轉,擋板開關,電極的切換等一系列操作。速率控制模式可以設定蒸發材料的速率值,與膜厚儀中探頭檢測的實際值比較,通過速率控制PID模塊調節加熱電源的輸出;通過膜厚儀與工控機串口通訊,將蒸發速率、蒸鍍膜厚和輸出功率一同在軟件中實時顯示,方便操作人員監測實驗過程;登陸軟件需要用戶名和密碼,不同的用戶名對應不同的操作權限,確保操作人員不會誤操作到設備的參數設置

  




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