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日本RIX半導體行業用單口、多端口旋轉接頭 L40系列/MFES系列 特點介紹
該旋轉接頭是為半導體行業供應純水和化學溶液而開發的，主回路采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子溶出到液體中。
主通道采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。
液體
純水、化學溶液等
該旋轉接頭也是針對半導體行業而開發的，在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層，從而可以創建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結構。
特點
可使用非金屬材料或對接液部件進行涂層，以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。
流體
純水、空氣、真空、泥漿等
日本RIX半導體行業用單口、多端口旋轉接頭 L40系列/MFES系列 規格參數
壓力（兆帕） 轉速（分-1） 端口數量
L40 1 600 1
壓力（兆帕） 轉速（分-1） 端口數量
MFES 1 200 2~
可使用非金屬材料或對接液部件進行涂層，以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。
流體
純水、空氣、真空、泥漿等
主通道采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。
液體
純水、化學溶液等
該旋轉接頭也是針對半導體行業而開發的，在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層，從而可以創建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結構。
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