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日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 特點介紹
電容式壓力計“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地減少了溫度、振動和大氣壓力波動等外部環境的影響，并實現了高精度和穩定的隔膜真空壓力測量。
達到調零最小頻率的儀表。
高精度、穩定的壓力測量
?出色的零點穩定性
?溫度依賴性低，無需溫度調節機構即可實現出色的穩定性
?出色的抗振性和噪音性
緊湊、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、輕量且緊湊 (*1)
、功耗 0.5 W
日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 規格參數
廣泛兼容真空壓力的高精度、長期穩定測量
半導體、顯示器、太陽能電池等各種真空設備、
濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力控制、監視
/負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工藝、系統壓力管理。
用于醫療、生物、食品等行業的各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析設備、滅菌、真空泵評估、分子蒸餾等，以及各種研發應用。
型號名稱M-342DG
-1D-1N-11-12-13
滿量程壓力 (Pa)13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k
測量精度（讀數的%）0.20(23℃時)
零點溫度系數（% of FS/℃）0.01 0.005 0.002
量程溫度系數（%讀數/℃）0.01 0.005
分辨率（滿量程的%）0.01 0.005
測量下限壓力（滿量程的%）0.01
實際測量下限壓力（滿量程的%）0.05
實際控制下限壓力（滿量程的%）0.5
響應速度（毫秒）100 30
壓力上限200 kPa（但是，對于NW16和NW25，內部壓力不得為正）
*13.33 Pa規格為130 kPa
電源電壓（VDC）+13.5～26.4
功耗（瓦）0.5
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