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日本nisshooptical日商精光微米高度測量儀 特點介紹
1. 這是一種新型深度和高度測量裝置，結合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF（自動對焦）跟蹤。
2. 連續跟蹤自動對焦驅動可實現快速、易于使用的測量，并具有高重復性。
3. 由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量，因此可以實時識別測量屏幕上的高度，從而輕松確定需要測量的區域。
4. 這是一種狹縫圖像、點光圖像和電子線參考線的中心在測量點處都重合的測量系統，通過檢查錯位，可以防止測量值錯誤。
5. 光切割仰角可根據應用場合從標準90°至30°、60°、120°中選擇。
日本nisshooptical日商精光微米高度測量儀 規格參數
■ 觀察方法
光學切割法（利用狹縫光學系統測量深度和高度）
■ 物鏡
固定放大倍率：10x（也可提供5x和20x）
■ Z軸驅動方式
使用聚光燈的 AF 連續跟蹤方法（可離線手動測量）
■ 投影狹縫
10μm半反射鏡型
■ Z軸測量
Z軸數字線性規0.1μm讀數
■ 重復性
±1μm以內
■ 使用的光源
半導體激光器（2級）、鹵素光源
清晰顯示深度、高度和水平差的光學切割方法...自動捕捉代表橫截面形狀的細縫光、紅色激光點和水平差的變化，Z軸功能快速跟隨，并以數字方式記錄測量值。這是一種新型深度/高度測量裝置，結合了顯示功能（自動對焦系統）和電子線法參考線，擴大了測量范圍，增加了其實用價值。
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