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日本technomu平面度測量機XY軸門型非接觸式 TFL3100 特點介紹
使用激光位移傳感器，固定工件，
在移動傳感器的同時，以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量，并使用專用軟件計算平面度。
待測量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產品或透明玻璃。
這是自動判定作品合格與否的檢查機。
? 以低成本實現高精度測量
? 高速XY平臺，數據采集速度快
? 由于是非接觸式，因此無需擔心損壞測試對象。
? 被測物體的影響很小
? 可以測量從晶圓到研磨金屬產品或透明玻璃的任何物體
? 采用石質平臺作為底座，可實現長期穩定的測量。
? 多種測量模式快速測量
? 通過登記工件的判斷基準值，可以自動判斷OK或NG。
? 我們將根據工件制作測量臺等（請咨詢我們）。
? 測量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求
? 測量方式：XY掃描法
? 可用的激光位移計：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸
? 分辨率：~0.001μm（最大）
日本technomu平面度測量機XY軸門型非接觸式 TFL3100 規格參數
尺寸20mm±3mm三角測距式激光器半導體激光波長650nm可見光CLAS3R輸出4.8mW0.02μm（注1）±20mmX=320mm（M）AX）Y=320mm（MAX）1μm/0.1mm/1.0mm/STEP（可選）30mm/SEC30μm以內±1μm以內5μm以內約W600×H350×D600 140Kg以下PC/AT兼容機5相微步進驅動器USB1.1/2.0約W388×H140×D205 7Kg以下支持OS Windows 7（32位）的外形、重量XY自動載物臺部項
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