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日本toko-valex毒性流體及真空控制的調節閥 T-8115 特點介紹
采用包含外壓式膜盒的結構，與一般的軸封結構相比，密封性能更高，是一款能夠有效毒性流體及真空服務的調節閥。
從手機到電腦、汽車，半導體是現代工業產品的主角之一。
在半導體行業中，是以單晶硅制造成套設備及日光發電晶圓制造成套設備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設備、超純水設備為核心，運用我公司產品。
尤其是蝕刻及清潔用氣體，由于包含毒性流體，所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。
日本toko-valex毒性流體及真空控制的調節閥 T-8115 規格參數
型號T-8115
型號帶全夾套單座膜盒調節閥
額定壓力JIS 10K～63K、ASME/ANSI 150～1500
連接法蘭型 RF
公稱直徑（A）15～300
主體材料0.01～1440（開閉：0.4～1600）
主體材料SCPH2、SCS13A、SCS14A
內件材料SUS316、SUS630
膜盒材料SUS316
填料材料PTFE-V 填料、彈性石墨
墊圈材料PTFE、膨脹石墨
流量特性等百分比（范圍度 50:1）、線性、快速打開（開閉）
可配備的驅動部分隔膜電機：T-5系列、空氣式氣缸、電子式：MSP/PSN系列、電動式：CMS系列
選配件范圍度 100:1
蒸汽套、特殊填料
內件材料：SUS304L、SUS316L
內件形狀：PTFE盤
內件附加處理：鎢鉻鈷合金硬化處理
連接：插入焊接、對焊、其他特殊接頭
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