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日本進(jìn)口YATAKA半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器R20系列
R20系列是專為高壓、高純氣體設(shè)計的產(chǎn)品。這是舊ERS系列的后繼產(chǎn)品，其基本結(jié)構(gòu)是內(nèi)置過濾器和與主體的螺紋連接，使其成為一種高度通用的產(chǎn)品，可以安裝各種配件。
車身承插焊支持UJR等焊接接頭規(guī)格。
功能高壓
焊接規(guī)格 金屬墊片接頭 旋
入式規(guī)格 雙壓縮環(huán)
接頭 氣缸安裝調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體氣體以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量～60NL/分鐘
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00086MPa
承受壓力 22.2MPa（進(jìn)口側(cè)）
CV值 0.08
工作溫度 -10~+40℃
外漏 螺紋規(guī)格（P）：1×10-9Pa·m3/s·He（真空方式）
焊接規(guī)格（W）：1×10-11Pa·m3/s·He（真空方式）
（但是，等級“C"（ N2氣24小時封裝測試）
內(nèi)部容積 4.67cm（不含3個壓力表及接頭）
大量的 約1.29公斤
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