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NIM型真空紫外光譜儀，采用Seya- Namioka光路結構，入射狹縫和CCD探測器位于羅蘭圓上，可以單色模式和光譜模式切用 。NIM型真空紫外光譜儀可應用于大科學裝置、半導體極紫外光源與探測器研究、空間與防務。

產品特點：

1、波長范圍較寬

2、在線精密可調狹縫

3、可擴展空間維聚焦

4、可進行系統集成服務

5、結構緊湊集成度高

6、高真空兼容性

主要參數：

· 光柵類型：球面光柵

· 波長范圍：80nm~200nm

· 光譜分辨率：0.16nm@167nm

· 波長精度：根據需求設計

· 探測器類型：科研級相機

· 狹縫寬度：0.01~3mm在線連續可調

測試數據：

應用領域：

大科學裝置/半導體極紫外光源與探測器研究/空間與防務