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平場光譜儀，采用全息凹球面變線距光柵進行分光，具有平場特性，便于使用面陣CCD記錄光譜。光柵工作在掠入射模式下，衍射效率高，同時通過選用不同的光柵型號，可以實現波長范圍0.6~200nm的全覆蓋。
平場光譜儀可應用于強場與高密度物理、半導體與集成電路制造和探測器、光源計量級標定。
主要參數：
● 光柵類型： 凹球?變線距光柵
● 波?范圍： 0.6~200nm(選配)
● 光譜分辨率： 0.015nm@13.5nm， 可根據需求優化
● 探測器類型： 科研級相機
● 前置收光可選
● 具備遠程激光快速瞄準定位功能
● ?真空兼容，5×10-3 Pa
● 具有5μm~300μm在線連續可調狹縫
光柵參數：
選配范圍：
測試數據：
應用領域：
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