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Carrier.Sxxx.xyRz.C-壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向
  • Carrier.Sxxx.xyRz.C-壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向
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更新時(shí)間:2025-05-04 21:00:07

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Carrier.S100/200.xyRz.C,壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向
Carrier.S 系列,標(biāo)準(zhǔn)型

壓電載物臺(tái)·高負(fù)載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

? 高負(fù)載·高速XY平面運(yùn)動(dòng),Z軸旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),保證XY面內(nèi)準(zhǔn)直運(yùn)動(dòng)



兩維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng)100 um, Z軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)1 mrad;

閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm

最大負(fù)載 5 kg;

針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案;

?持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí);


壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向——詳細(xì)參數(shù):



壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向——尺寸圖

壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向


多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列(標(biāo)準(zhǔn)型)和Carrier.SL 系列(輕量型)。Carrier.S & SL系列主要針對(duì)精密光學(xué),半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景,覆蓋載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求,核心特點(diǎn)包括:

運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)

X,Z,XY,XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持

線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長(zhǎng)時(shí)間疲勞測(cè)試

• 支持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)










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