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產(chǎn)品型號

1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm（L）*600mm(W)*700mm(H),承重 150kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。

2、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。

3 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。

4 、采用 PID 控制器 ，可以設置 30 段升降溫程序。

5 、已通過 CE 認證。

技術參數(shù)

管式爐

1 、電源： 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    6KW

2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管， 外徑 ?100mm ，內徑 ?92mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 1800℃硅鉬棒 8 根

4、加熱區(qū)域： 457mm

5、恒溫區(qū)域： 150mm

6 、工作溫度：  1650℃ ，連續(xù)工作 1600℃

7、升溫速率：≤5℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、熱電偶： B 型

10、不銹鋼真空法蘭： 1 對

11、機械壓力表： 1 個

12、針閥： 2 個

13、連接器： KF-25 ，1 個

14、抽氣接口： KF-25 轉 KF-40

15、卡套接頭： 1/4″

高真空機組

1、電源： 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    100W-110W

2、真空泵： 德國 Pfeiffer 真空泵

3、顯示屏： LCD 數(shù)字顯示

4、抽氣速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s

5、工作范圍： 1000mtorr-10-7mtorr

6、極限： 10-8mtorr  （無泄漏）

質量流量混氣系統(tǒng)

1、電源： 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    18W

2、功率： 18W

3、混氣箱： ?80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，高真空機組 600mm×600mm×700mm，質量流量混

氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm