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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： 1700℃單溫區三通道混氣 CVD 系統 GSL-1700X-F3LV 是由單溫區管式爐、三路浮子混氣系統 和雙旋片式真空泵組成，工作溫度可達 1700℃ ，混氣系統可以對三種氣體進行精確的混氣，真空度可 達 5 ×10-2 torr。
產品型號 | 1700℃單溫區三通道混氣 CVD 系統 GSL-1700X-F3LV |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通風裝置：需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體，配有風冷系統，殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。 3 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長使用壽命。 4 、采用 PID 控制器 ，可以設置 30 段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護功能。 |
5 、已通過 CE 認證。 |
技術參數 | 管式爐 1 、電源： 單相 AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管： 99.8%高純氧化鋁陶瓷管， 外徑 ?80mm ，內徑 ?72mm ，長 1000mm 3、加熱元件： 1800℃級硅鉬棒 8 根 4、加熱區域： 457mm 5、恒溫區域： 150mm 6 、工作溫度： 1700℃ 7、升降溫速率： 5℃/min 8、控溫精度：± 1℃ 9、真空度： 5×10-2 torr 10、泄漏率： 6mtorr/min |
真空系統 1、真空泵：雙旋片機械泵 2、可達真空度： 5×10-2 torr 3、法蘭：不銹鋼密封法蘭 4、針閥： 2 個不銹鋼針閥 | |
5、真空泵接口： KF-25 6、軟管接頭： 1/4″ 7、真空顯示計： LED 數字式真空顯示計， 測量范圍 0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統 1、浮子流量計： 3 個， 精確度 4%FS 2、流量計范圍： 10cc/min-100cc/min ，16cc/min-160cc/min ，25cc/min-250cc/min 3、壓力表： 1 個，監測混合氣體壓力 |
產品規格 | 尺寸：管式爐 550mm×500mm×700mm，混氣系統 600mm×600mm×700mm，真空機組 600mm× 600mm×700mm |
重量： 210kg | |
可選配件 | 防腐型數字式真空顯示計 |