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當前位置：> 供求商機> 寫真化學通過顯微圖像光譜測厚儀
由于薄膜厚度是通過光學干涉法計算的，因此
薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式顯示。
在顯微鏡視場中測量任意區域的薄膜厚度和薄膜質量分布
，并以 3D 形式顯示分布
分辨率與可見光波長光學涂層測厚儀相當
波長范圍從 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量
使用與反射膜厚度監視器相同的計算引擎進行并行計算
（1） 數百層重復層壓薄膜和溝槽等復合結構
（2） 用 EMA（有效介質近似）法估計亞微米圖案的密度
（3） 局部結晶度評估
您可以根據工件和應用選擇物鏡
半導體
太陽能電池
平板顯示器
玻璃（涂層）和
薄膜
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