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腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。
• 主要部件表面進行硬質氧化處理，提高耐腐蝕性，同時減少泵體內部損傷。
• 此特性可選，標準品表面不處理。
• 配置變頻器后與粗抽泵同時啟動，與標準泵相比有效縮短排氣時間。
• 此配件可選，標準泵不配置。
• 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
• 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
• 分析儀器、密封裝置。
• 真空熱處理爐、溶解爐。
• 其他各種真空裝置。
* 1 用皮拉尼真空計測量的值，如用麥氏真空計測量，則為6.5×10-2Pa。
* 2 隨粗抽泵的性能而變化，表中數據是與標準粗抽泵組合使用時的數據。
* 3 冷卻水入口溫度必須為5～30℃。如冷卻水溫過低，則泵應在不易結露的環境中使用。
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