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活塞干式真空泵通過氣缸內皮碗密封的往復運動來形成真空狀態。
泵速體積越大、泵機揚程數越高。
結構緊湊，排氣量大。
氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。
豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
大氣壓下可運作。
可全壓力范圍內連續運轉。
結構簡單，維護方便。
真空吸盤，真空鑷子。
半導體行業。（處理機，貼片機）
FPD行業。（壓合機）
印刷機。
注塑成型。
吸附和轉移。
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
| 有效排氣速度 | L/min | 300 | 330 |
| 極限壓力*1 | Pa (kPa) | 8.0×103 （-93.3） | |
| 使用電動機*2 | Three phase, 200-230V, 400W, 4P | ||
| 全負荷電流 | A | 2.1 | 2.5 |
| 重量 | kg | 20 | |
| 吸/排出孔（內螺紋尺寸） | mm | O.D.Φ16×I.D.Φ12 (Rc 1/2) | |
| 使用環境溫度范圍 | ℃ | 0～40 | |
| 最大尺寸 | mm | 315(W)×443(L)×231(H) | |
*1:極限壓力如（）真空計顯示。
*2:不包括電源插頭和電源線
| 電源電圧 | 認證 | 備注 |
| 三相,200-230V | CE, TUV, cTUVus |
■TUV認證是由執行產品安全測試及認證的國際第三方組織審查，符合歐洲規格的高品質產品。
1 如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。
在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓。
2 請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。
3 泵的滑動材料會在運行過程中磨損，產生磨損粉末。
此外，所使用的滑動材料對抗水性較弱，因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。
4 僅供室內使用。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。
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