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165次日本SAKAGUCHI坂口電熱激光平板瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
長處
可以實(shí)現(xiàn)超快的溫度上升和下降。
一次性均勻加熱 2 英寸基板
只有要加熱的物體才能直接加熱。
可根據(jù)工藝進(jìn)行溫度控制
在不加熱大氣的情況下節(jié)能
應(yīng)用實(shí)例
MBE設(shè)備的基板加熱
晶圓退火（SiC、GaAs等）
可以對多層器件進(jìn)行表面退火（與小型化器件兼容）
日本原子能機(jī)構(gòu) 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）
使用 EXL-CT-010DS55，對安裝在真空室中的樣品進(jìn)行激光加熱。 從樣品的背面（與激光照射表面相反）測量溫度分布。
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