場發射掃描電子顯微鏡(FESEM)主要用于高分辨率的表面形貌觀察和微區成分分析。它具有高分辨率，能夠觀察納米尺度的樣品表面形貌，并通過二次電子成像原理獲得忠實原貌的立體感強的圖像。
FESEM可以用于各種固態樣品的表面形貌觀察，包括生物樣品如組織、細胞、微生物以及生物大分子等。此外，FESEM還配備高性能X射線能譜儀，能夠進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌和化學組分綜合分析能力。
場發射掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像原理，對樣品表面進行放大觀察。其使用場發射電子槍作為電子源，通過強電場使金屬的電子脫離束縛，形成高亮度、高相干性的電子束。電子束經過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦、偏轉和整形，形成一個細小的探針。掃描線圈控制電子束在樣品表面進行逐行掃描，與樣品相互作用產生二次電子、背散射電子等信號。這些信號被探測器收集、放大并處理后，生成反映樣品表面形貌、結構和成分信息的圖像。
維護與保養
燈絲維護：燈絲是場發射掃描電子顯微鏡的關鍵部件之一，其使用壽命有限。正常使用情況下，燈絲使用時間約為10000~20000小時。在使用過程中，應注意觀察燈絲的狀態，及時更換老化的燈絲。燈絲更換需專業人士上門服務。
真空系統維護：真空系統的性能對場發射掃描電子顯微鏡的分辨率和穩定性有著重要影響。應定期檢查真空泵、管道、真空閥門等部件的性能，確保其正常工作。同時，應定期測量真空值，確保系統真空度滿足要求。
日常清潔與保養：定期對場發射掃描電子顯微鏡進行清潔和保養，包括清潔樣品室、探測器、鏡頭等部件，以及檢查電氣連接和機械部件的緊固情況。
綜上所述，場發射掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，具有廣泛的應用領域和好的性能特點。在使用過程中，應注意滿足其使用環境要求，并進行適當的維護與保養，以確保其正常工作并延長使用壽命。
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