| 光源 | 解決 | 最大曝光尺寸 | 總體疊加精度 | |
|---|---|---|---|---|
| EDi-5308 | 紫外線燈 | SRO：Φ40μm | 635x535毫米 | 6μm |
| EDi-8308 | 紫外線燈 | SRO：Φ80μm | 635x535毫米 | 7μm |
| EDi-8310 | 紫外線燈 | SRO：Φ80μm | 813x635毫米 | 7μm |
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- ANEOS/阿尼奧斯
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