| 光源 | 有效曝光尺寸 | 基材寬度 | 解決 | 吞吐量 | 總體疊加精度 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| RDi-10 雙核 | 半導體激光器 | 635x520毫米 | 250mm 寬 x 2 個水槽（500mm 寬 x 1 個水槽也可以） | 10μm長/秒 | 38秒/平面@30mJ MD:500mm | 6μm |
| RDi-MP | 半導體激光器 | 515x260毫米 | 250mm（*其他要求可協商） | 4μm長/秒 | 45秒/平面@55mJ MD：515mm | 3.5μm |
| RDi-MP 二重奏 | 半導體激光器 | 515x590毫米 | 250mm寬x 2個主水槽（*其他要求可協商） | 4μm長/秒 | 44秒/平面@50mJ MD:500mm | 3.5μm |
| RDi?80 | 紫外線燈 | 635x520毫米 | 250/500毫米 | 30μm L/S / Φ80μm | 58秒/平面@150mJ 69秒/平面@200mJ MD:610mm | 7μm |
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