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原裝USHIO牛尾 USH-102D 穩定超高壓紫外線燈
USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機，采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們的大面積投影透鏡技術，并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現了高生產率，同時實現了封

原裝USHIO牛尾 USH-102D 穩定超高壓紫外線燈

USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機，采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們的大面積投影透鏡技術，并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現了高生產率，同時實現了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。

[元件技術]

配備全球占有率第一的超高壓UV燈

具有高均勻性的照射光學系統

的大面積投影鏡頭

響應基板特定畸變的對準技術

的TTL非曝光波長/對準方法

Ushio的技術“TTL非曝光波長對準"在觀察掩模標記時無需暴露基板上的對準標記。此外，由于可以直接觀察工件標記，因此不會因掩模而降低對比度，并且可以與清晰的標記進行高精度對準。

兼容多種對準標記

由于支持對已登記圖案的圖案匹配，因此無需專用對準標記，即可與各種布線圖案進行對準。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實現高分辨率。支持全面量產，設計規則線距=5μm。

深景深

由于焦點深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導致焦點偏離，也可以獲得與正確對焦時相同的圖案輪廓。當曝光較厚的干膜、阻焊劑等時尤其有效。

使用表面平臺進行高速步進和重復

通過使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過平面電機結構使運動部件更輕、更堅固，實現了高速步進重復操作。此外，表面平臺使用激光干涉儀進行反饋控制，實現高速運行和高定位精度。

面罩無損傷

模型	額定燈輸入（W）	燈電壓（V）	水平輻照度（μW/cm 2）	總光通量（lm）	冷電極距離(mm)	平均壽命（小時）	產品規格
USH-102D	100	20±4	26	3000	0.5	200	PDF301 KB
USH-103D	100	20±4	29	3300	0.6	200	PDF301 KB
USH-200DP	200	57+7-8	82	13000	2.5	1000	PDF306KB
USH-205S	200	29±4	63	8000	1	1000	PDF306KB
USH-250D	250	40±6	106	13000	2	1000	PDF306KB
USH-350DS	350	60±6	155	22700	2.8	1000	PDF308KB
USH-350DP	350	60±6	152	22100	2.8	1000	PDF310KB
USH-500D	500	60±7	226	32200	4.5	800	PDF307 KB
USH-508SA	500	76±9	209	35200	四	800	PDF308KB

*1mW/cm 2 =1,000μW/cm 2

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