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日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)監(jiān)控單元

在整個(gè)流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

級(jí)別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分，具有的結(jié)構(gòu)，盡管其尺寸最小，但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當(dāng)測量總壓力高達(dá) 0.5 Pa（對(duì)于 2-65 m/z 傳感器）時(shí)，無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設(shè)備。

一臺(tái)安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。

這是質(zhì)量流量計(jì)專用的監(jiān)控單元。

業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規(guī)格

流量報(bào)警輸出功能外部輸出：集電極開路

流量信號(hào)輸出：0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）

適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn)：符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性：符合 RoHS 指令

兼容數(shù)字/模擬通信模型

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